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    三維磁場探針臺T8-500-3的技術指標

    更新時間:2023-07-14 點擊量:242


    北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺,采用無磁材料制成,采用亥姆霍茲線圈正交放置,產生空間維磁場。線圈可采用自然冷卻(磁場較?。?/span>水冷結構(磁場較大),標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流,可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實現水平方向二維移動和360度轉動,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

    技術指標:

    型號:T8-500-3

    材質:所選材料均為無磁材質

    磁場范圍:500Gs

    線圈材質:耐高溫漆包線

    磁場均勻性:中心區50毫米球體內1%

    電源穩定性:三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm

    磁場分辨率:0.05 mT

    角度分辨率:0.02°

    樣品固定方式:吸盤或者壓片

    樣品臺直徑:50mm可定制

    顯微鏡:X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光

    放大倍數:16~100X/20~4000X

    探針臂數量:2、4可選

    探針臂行程:25mm-25mm-12mm可更換

    探針臂移動精度:10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

    探針長度:38mm

    探針直徑:0.51mm

    針尖直徑:10μm/5μm/1μm

    探針材料:鎢/鈹銅/GGB

    漏電精度:100fA

     

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